这里正在进行的是此次峰会最核心、最机密,也最受期待的环节——“天河之光”冰刻机技术定向展示与说明会。
能进入这个会场的,都是经过严格筛选的政要、顶尖科学家、战略合作伙伴以及极少数特邀媒体。
陆染博士的声音通过高质量的音响系统,清晰而充满自信地回荡在鸦雀无声的展厅中:“……所以,各位,我们天河集团,绝非PPT造车之辈。理论的完善,必须经过无数次实验的淬炼和工程化的考验。”
“今天,在我们完成关键技术原理的讲解之后,将荣幸地邀请各位贵宾,移步隔壁的无尘展示室,近距离、亲眼目睹我们‘天河之光’冰刻机的原型机!”
此言一出,台下顿时响起一片低低的吸气声和难以抑制的兴奋骚动。亲眼见到原型机?这远远超出了许多人的预期!
陆染博士开始切入正题,他的讲解深入浅出,配合着大屏幕上精美而清晰的动态示意图和模拟动画:
“首先,明确一个概念。冰刻机,是一种革命性的前沿微纳加工技术。*其最核心的革命之处在于,它用一层在超低温下凝结而成的‘冰胶’,完全替代了传统电子束光刻中复杂、昂贵且具有污染性的‘光刻胶’,从而实现了在微米乃至纳米尺度上,制造出极其精密的立体结构。”
他切换PPT,画面出现对比图:“从本质上说,冰刻技术仍然属于‘电子束加工’这个大范畴。但是,正是由于其独特的加工介质(水/冰)和与之配套的全新工艺流程,带来了从原理到应用层面的颠覆性改变!其工作流程,与传统方法截然不同,堪称另辟蹊径!”
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他开始详细拆解流程,每一句话都如同重磅炸弹:
“第一步,在**-140°C左右的超高真空环境**中,向需要加工的样品基底表面,精准注入水蒸气。这些水蒸气在极低温下,不是液化,而是直接凝华,形成一层厚度均匀、结构可控的纯净冰薄膜——这就是我们的‘冰胶’。”
“第二步,使用经过特殊优化的高精度电子束,直接对冰胶层进行定点照射。电子束的能量使冰胶局部受热或发生物理化学变化,导致被照射区域的冰瞬间升华,直接从固态变为气态,被真空系统抽走。这个过程,就像用最精细的刻刀,在冰层上‘雕刻’出预设的电路图案。全程无需任何化学试剂参与!”
陆染博士的讲解配合着动画演示,将那个在极端环境下进行的、充满科幻感的加工过程,生动地展现在众人面前。
台下,来自全球顶尖半导体企业、研究机构的专家们,眼神中充满了震撼、狂热,以及难以掩饰的复杂情绪。
如果说,传统的EUV光刻机是人类工业文明皇冠上最耀眼的明珠,代表了精密制造的巅峰;那么眼前这台“天河之光”冰刻机,就如同古老传说中龙国的传国玉玺,镇国重器,它代表的是一条全新的、可能绕过现有技术封锁、实现弯道超车的战略路径!其象征意义和战略价值,无法估量!